ME02-11-02-EGM-01-VA-000-0,進口BURKERT質量流量控制器
理學法則告訴我們:熱量是從高溫端流向低溫端。所以,如果一個物體的溫度高于環
,就會向其周圍的環境散發熱量。我們的熱量法測量技術采用的就是這個原理,也即氣
傳導原理。
量氣體質量流量的熱量法流量傳感器包括加熱元件和溫度傳感器,可以直接安裝在氣體
,也可安裝在氣體通道之外。加熱元件對流過的氣體進行加熱,然后由溫度傳感器檢測
發的熱量。
散發的熱量與當前的質量流量存在著函數關系,而由質量流量可確定流動介質的重量,也
位時間內流過質量流量計的氣體的重量。通常質量流量的單位為 kg/h、g/s 或 mol/s。與質
相比較,由體積流量可確定單位時間內流過流一體式設備,用于控制氣體的質量
流量。 所控制的是一個預先設置的流量參考值,而不考慮壓力波動或瞬間出現的流動阻力(如
由過濾器污垢所導致的)等干擾變量。MFCs 包括以下幾個部分:流量傳感器、電子線路(具有
信號處理、調節和控制閥門等功能)和比例電磁閥。通過模擬信號或現場總線設置參考值,在控
制器中將傳感器測得的實際值與參考值進行比較。控制器根據控制偏差輸出一個脈寬調制的電壓
信號(修正變量)來控制比例電磁閥,并使該修正變量隨控制偏差的變化而不斷變化。實際值也
通過模擬信號或現場總線傳送,以便用戶對氣體的質量流量進行控制和分析。質量流量控制器具
有結構緊湊、安裝簡單的特點,確保整個(閉環)控制回路的操作方便。沒有額外的工作量或費
用。而主要區別在于:毛細管傳感器不與介質直接接觸。兩個溫度相關的電阻纏繞在不銹鋼毛
上,構成半個惠斯頓電橋。當氣體流過毛細管時,就會帶走一部分熱量,流向為從 R1 至 R2。
,R1 的阻值下降,而 R2 的阻值上升。如果給電橋提供恒定的電流,其輸出電壓就與這兩個
的差值成正比。因此該輸出電壓與流過的氣體的質量流量成線性關系。其線性關系甚至使該
器可用于未經的氣體:通過采用一個轉換因子對當前介質的測量值進行修正。這樣就可
,同時正確選擇傳感器材質可確保毛細管傳感器適用于腐蝕性氣體。
該傳感器的動態特性取決于不銹鋼毛細管的管壁特性,它起著熱障的作用。毛細管傳感器的
時間通常為幾秒,適用于大多數腐蝕性或毒性氣體。
的力。斷電時,張緊的彈簧直接將鐵心壓在閥座上,閥門關閉。如將線圈通電,即產
克服彈簧力將鐵心提起,從而打開閥門使介質(氣體)流過。線圈電流的大小直接
的大小、鐵心的行程、閥門的開度以及流過閥門的氣體流量。其簡單、直動式的結
磁閥的體積小、緊湊并具有成本優勢。比例電磁閥的主要優點是:位置控制的重復
時間極短,尤其適用于閉環過程控制回路。
根據以下參數來計算所需的比例電磁閥的內孔尺寸:所需的額定流量 (Qnom)、
壓力、溫度和密度(參見 18 頁“選型”)。用于 MFCs 的比例電磁閥的內孔尺寸
- 12 mm。:如各部件之間的接線與協調、考慮管道長度(入口/出口直管段)等。
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