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管理閥的響應性能時,請注意配管尺寸、長度以 ■ 空壓配管和接頭請選用與使用溫度相匹配的產品。 使用時,請務必確認與氣體接觸部分的材質與使用流體
CKD電子式壓力開關,喜開理電子式壓力開關
本系統是專為半導體生產設備供氣管路而開發的, 是一種將按照SEMI標準化的表面安裝型氣控閥? 流量控制器等進行緊湊型集約化的產品。, 錯誤的元件選型及使用,不僅會導致本產品發生故障, 還可能導致客戶系統發生故障。元件選型及使用時,客 戶必須負責確認本產品規格與其系統的適用性后再使用。 本產品是為真空或惰性氣體的控制而設計的,如果用來控 制其他流體(活性氣體、液體或固體等),可能會導致產品 無法維持正常動作或性能顯著下降,敬請注意。使用時, 請務必確認與氣體接觸部分的材質與使用流體之間的適用 性。使用流體可能會出現固化時,請在確認使用中不會出 請在本產品規格允許的流體溫度及使用壓力范圍內使用。 請避免使用在配管內可能會結晶并堆積的流體。 ■ 氣缸內部和波紋管內部與大氣是直接連通的。使 勿堵塞波紋管內部與大氣的連通
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有效期*: 三天內 一周內 兩周內 一個月內 三個月內 六個月內
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