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■配管作業時請勿損傷真空法蘭密封面等。為了保護
密封面，特地設計了0.1～0.2mm的高低差（凹槽）。
■受排氣氣流影響，可能會導致耐久性下降，建議將
波紋管側作為排氣側■配管作業結束后，請務必實施泄漏檢查，確認沒有
泄漏■搬運或安裝時，請不要提拉電纜部分。
■請勿在可能會傳導巨大振動或沖擊的場所進行配
因巨大振動或沖擊的傳導，可能會引起誤動作。特別是如果
振動持續存在，可能會導致耐用性下降。配管連接時要注意
請勿用外力強制使產品的可動部分執行動作。
否則，可能會因再生電流導致誤動作或損壞。
原點復位動作時，請勿向閥施加外力。否則可能會
請勿讓稀土類磁鐵等可能會產生強烈磁場的物質靠
近本產品。否則可能無法保持本來的精度。
外部I/F輸入部為了防止因振蕩引起誤動作，當輸
入信號狀態持續50msec以上時才進行識別。
本產品是經過精密清洗處理后在潔凈室中組裝的。
包裝箱內的潔凈袋，請在安裝前，在潔凈環境中開封。
連接配管時，請勿向法蘭部施加過大的外力。重物
或安裝物振動時，請將它們固定好，以避免法蘭直
鐘以上，然后用電表等確認電壓后再進行。
■在接通電源的狀態下，請勿進行接

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