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小金井組合式真空閥工作原理，日本KOGANEL真空閥

上海乾拓貿易有限公司
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；居琦

在要求均一涂膜的液晶、PDP、有機EL等基板用涂膠對應電動泵。
高信賴的CT泵構造更加進化、能夠控制定流量。大吐出量：
適合于液晶、PDP、有機EL機等基板用狹縫涂布機對平均涂抹的要求。
使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯絡、咨詢本公司 
大吐出壓力 吐出量 ml 吐出.
輸入流量 ml/s
0.05MPa 3～30 0.05～3
電動CT泵F-EPT系列F-EPT60型
適合于液晶、PDP、有機EL機等基板用狹縫涂布機對平均涂抹的要求。
使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯絡、咨詢本公司
大吐出壓力 吐出量 ml 吐出.
輸入流量 ml/s
0.05MPa 6～60 0.05～5 、
電動CT泵F-EPT系列F-EPT200型
適合于液晶、PDP、有機EL機等基板用狹縫涂布機對平均涂抹的要求。
使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯絡、咨詢本公司
大吐出壓力 吐出量 ml 吐出.
輸入流量 ml/s
0.05MPa 20～200 0.1～15
電動CT泵F-EPT系列F-EPT300型
適合于液晶、PDP、有機EL機等基板用狹縫涂布機對平均涂抹的要求。
使用流體：光刻膠、純水、藥液（可燃性物質不可）※選定，導入時，請事前聯絡、咨詢本公司 
 

小金井組合式真空閥工作原理，日本KOGANEL真空閥